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APPAREILLAGE POUR FABRICATION DE LAMES MINCES SOUS ULTRAVIDE: ACCESSOIRES POUR CRYOPOMPAGE ET REFROIDISSEMENT DES SUPPORTS.

CRYOPUMPING AND SUBSTRATE COOLING ATTACHMENTS TO A HIGH VACUUM THIN FILM COATING UNIT.

Auteurs : VASUDEVA RAO V.

Type d'article : Article

Résumé

PROBLEMES A RESOUDRE POUR OBTENIR DES LAMES MINCES NON CONTAMINEES: MAINTIEN DE L'ULTRAVIDE MEME EN CAS DE DEGAZAGE BRUTAL AU COURS DU DEPOT DE LA LAME MINCE, CONTROLE DE LA PRESSION PARTIELLE DES DIVERS COMPOSANTS GAZEUX, REGULATION THERMIQUE DU SUBSTRAT, A DIFFERENTES TEMPERATURES, POUR L'EVAPORATION ET POUR LES MESURES IN SITU. LA CHAMBRE A VIDE CONCUE ET TESTEE PAR LES AUTEURS REMPLIT CES CONDITIONS. LA PAROI UTILISEE POUR LE CRYOPOMPAGE EST REFROIDIE PAR UN COURANT D'AZOTE LIQUIDE ET ATTEINT 80 K EN CINQ MINUTES ENVIRON; LE VIDE DECROIT ENSUITE DE 0,06 M TORR A 6 MICRO TORR. CE DISPOSITIF A PERMIS LE DEPOT SUR VERRE D'UNE LAME MINCE DE BISMUTH A 155 K ET LA MESURE DE SA RESISTANCE ELECTRIQUE AU COURS DE DEUX CYCLES DE RECHAUFFEMENT ET REFROIDISSEMENT.J.V.

Détails

  • Titre original : CRYOPUMPING AND SUBSTRATE COOLING ATTACHMENTS TO A HIGH VACUUM THIN FILM COATING UNIT.
  • Identifiant de la fiche : 1982-1841
  • Langues : Anglais
  • Source : Indian J. Cryog. - vol. 5 - n. 3
  • Date d'édition : 1980
  • Document disponible en consultation à la bibliothèque du siège de l'IIF uniquement.

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