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Capteur de pression piézo-résistif pour la mesure in situ de la pression à basse température et sous champ magnétique.

Piezo-resistive pressure sensor applicable for in situ pressure measurement at cryogenic temperatures under magnetic fields.

Auteurs : NARA K., OKAJI M., KATO H.

Type d'article : Article

Résumé

On étudie l'effet de la température sur la sensibilité à la pression de ce capteur, sa stabilité après cyclage thermique et sa performance sous des champs magnétiques de 8 T maximum, dans le but d'évaluer ses possibilités d'application. Sa sensibilité à la pression ne varie pas de plus de 5 % entre la température ambiante et 6 K. On observe que ses caractéristiques se stabilisent après plusieurs cycles thermiques entre la température ambiante et celle de l'azote liquide. L'effet du champ magnétique sur la sensibilité ne dépasse pas 2 % sous un champ magnétique allant jusqu'à 8 T entre 6 et 40 K.

Détails

  • Titre original : Piezo-resistive pressure sensor applicable for in situ pressure measurement at cryogenic temperatures under magnetic fields.
  • Identifiant de la fiche : 1994-0016
  • Langues : Anglais
  • Source : Cryogenics - vol. 33 - n. 5
  • Date d'édition : 05/1993

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