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Conception des salles blanches pour la fabrication de semi-conducteurs.

Reinraumkonzepte für die Halbleiterfertigung.

Auteurs : RENZ M.

Type d'extrait : Chapitre d'ouvrage

Résumé

L'auteur présente une conception de circuit d'air appropriée aux salles blanches destinées à la fabrication de semi-conducteurs. Des croquis montrent les dispositions des filtres, ventilateurs et des systèmes de distribution et de reprise d'air, dans la conception conventionnelle et dans la conception proposée. Cette dernière comporte également l'idée de mini environnements ultra propres, à certains endroits délicats permettant la réduction des débits d'air traités.

Détails

  • Titre original : Reinraumkonzepte für die Halbleiterfertigung.
  • Identifiant de la fiche : 2000-0972
  • Langues : Allemand
  • Source : Festschrift zum 60. Geburtstag von Prof. Dr.-Ing. Fritz Steimle.
  • Date d'édition : 04/09/1998
  • Document disponible en consultation à la bibliothèque du siège de l'IIF uniquement.

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