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Couches minces d'oxyde supraconducteur.

[In Japanese. / En japonais.]

Auteurs : KUSAKA T., KAKEHI Y., YOTSUYA T.

Type d'article : Article

Résumé

Plusieurs méthodes telles que projection, dépôt par évaporation, dépôt par laser pulsé, dépôt chimique en évaporation, ont été utilisées avec succès pour la production de couches minces d'oxyde par croissance épitaxiale. L'oxydation joue un rôle critique pour la qualité de ces films. Des techniques complémentaires telles que gravure, formation d'électrodes et gainage protecteur sont nécessaires pour certaines applications telles que jonctions Josephson, SQUID et détecteurs infrarouges.

Détails

  • Titre original : [In Japanese. / En japonais.]
  • Identifiant de la fiche : 1995-3404
  • Langues : Japonais
  • Source : Cryogenics/ Cryog. Eng. - vol. 29 - n. 11
  • Date d'édition : 1994
  • Document disponible en consultation à la bibliothèque du siège de l'IIF uniquement.

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