Développement d'une salle blanche au niveau nanoscopique.

[In Japanese./ En japonais.]

Auteurs : HASEBE H., NAGOYA H., SUZUKI Y., et al.

Type d'article : Article

Résumé

Les auteurs rendent compte de leurs recherches dans le domaine des salles blanches pour prévenir simultanément les contaminants aériens et l'humidité.

Détails

  • Titre original : [In Japanese./ En japonais.]
  • Identifiant de la fiche : 2010-0568
  • Langues : Japonais
  • Source : SHASE - vol. 83 - n. 7
  • Date d'édition : 07/2009
  • Document disponible en consultation à la bibliothèque du siège de l'IIF uniquement.

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