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DISPOSITIF DE MESURE, EN TEMPS REEL, DE L'EPAISSEUR DE COUCHES MINCES PULVERISEES FONCTIONNANT DE 88 A 673 K.

Auteurs : PROTIN L., FLEURY G.

Type d'article : Article

Résumé

UNE MICROBALANCE A QUARTZ VIBRANT ADAPTEE AU DEPOT D'ALLIAGES METALLIQUES AMORPHES SUR SUPPORT FROID (88 K) EST DECRITE. LE PRINCIPE REPOSE SUR L'UTILISATION D'UNE TETE DE MESURE COMPORTANT 2 QUARTZ IDENTIQUES PLACES DANS LES MEMES CONDITIONS THERMIQUES QUE LES SUBSTRATS RECEVANT LES DEPOTS. UNE MESURE SEQUENTIELLE DES PERIODES D'OSCILLATION DES QUARTZ DE MESURE ET DE REFERENCE ET LEUR MEMORISATION PAR UN MICROPROCESSEUR PERMET DE CALCULER L'EPAISSEUR DEPOSEE EN ELIMINANT LES EFFETS THERMIQUES PARASITES.

Détails

  • Titre original : DISPOSITIF DE MESURE, EN TEMPS REEL, DE L'EPAISSEUR DE COUCHES MINCES PULVERISEES FONCTIONNANT DE 88 A 673 K.
  • Identifiant de la fiche : 1987-0756
  • Langues : Français
  • Source : Vide Couches minces - vol. 41 - n. 233
  • Date d'édition : 1986
  • Document disponible en consultation à la bibliothèque du siège de l'IIF uniquement.

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