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LES SALLES BLANCHES ET LES DEPOTS DE PARTICULES.

[In Japanese. / En japonais.]

Auteurs : FUJII S., XIE G.

Type d'article : Article

Résumé

LE DEPOT DE PARTICULES D'AEROSOLS A LA SURFACE DES PRODUITS EST UN GROS PROBLEME DE LA FABRICATION DES CIRCUITS INTEGRES. ON DECRIT LA MISE AU POINT D'UN MODELE PERMETTANT DE PREVOIR LES DEPOTS DE PARTICULES DANS LES SALLES BLANCHES UNIDIRECTIONNELLES.

Détails

  • Titre original : [In Japanese. / En japonais.]
  • Identifiant de la fiche : 1992-1856
  • Langues : Japonais
  • Source : SHASE - vol. 65 - n. 9
  • Date d'édition : 1991
  • Document disponible en consultation à la bibliothèque du siège de l'IIF uniquement.

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