Mesure de la détente hors plan des pellicules minces à l'aide d'une cellule capacitive.
Capacitance cell measurement of the out-of-plane expansion of thin films.
Auteurs : NIST, SNYDER C. R., MOPSIK F. I.
Type de monographie : Guide/Manuel, Brochure
Résumé
The document provides guidance for construction and use of a capacitance-based technique for determining the coefficient of thermal expansion of films with thicknesses ranging from 2 micrometers up to 1 centimetre. The guide can be downloaded from the following Web site: www.nist.gov/practiceguides.
Détails
- Titre original : Capacitance cell measurement of the out-of-plane expansion of thin films.
- Identifiant de la fiche : 2004-0984
- Langues : Anglais
- Sujet : Réglementation
- Édition : Us department of commerce, nist (national institute of standards and technology) - États-unis/États-unis
- Date d'édition : 2003
- Collection : NIST Recommended Practice Guide
- Source : Source : NIST SP 960-7; 44 p. (15 x 23); fig.; 22 ref.; append.
- Document disponible en consultation à la bibliothèque du siège de l'IIF uniquement.
Indexation
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