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Mesure de la détente hors plan des pellicules minces à l'aide d'une cellule capacitive.

Capacitance cell measurement of the out-of-plane expansion of thin films.

Auteurs : NIST, SNYDER C. R., MOPSIK F. I.

Type de monographie : Guide/Manuel, Brochure

Résumé

The document provides guidance for construction and use of a capacitance-based technique for determining the coefficient of thermal expansion of films with thicknesses ranging from 2 micrometers up to 1 centimetre. The guide can be downloaded from the following Web site: www.nist.gov/practiceguides.

Détails

  • Titre original : Capacitance cell measurement of the out-of-plane expansion of thin films.
  • Identifiant de la fiche : 2004-0984
  • Langues : Anglais
  • Sujet : Réglementation
  • Édition : US Department of Commerce, NIST (National Institute of Standards and Technology) - États-unis/États-unis
  • Date d'édition : 2003
  • Collection : NIST Recommended Practice Guide
  • Source : Source : NIST SP 960-7; 44 p. (15 x 23); fig.; 22 ref.; append.
  • Document disponible en consultation à la bibliothèque du siège de l'IIF uniquement.

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