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Microbolomètres supraconducteurs suspendus opérant à la température de l'azote liquide ; conception et fabrication par micro-usinage de substrats de silicium.

Auteurs : MECHIN L., BLOYET D., VILLEGIER J. C.

Type d'article : Article

Résumé

La sensibilité d'un bolomètre croît si la conductance thermique entre la partie du capteur échauffée par la lumière incidente et le thermostat auquel il est couplé décroît. Ainsi, le travail des auteurs s'est orienté vers la conception et la fabrication de microstructures YBCO suspendues par micro-usinage de substrats de silicium. Les films obtenus ont montré de très bonnes caractéristiques structurales et électriques, une seule orientation dans le plan et une température critique mesurée à résistance nulle de 88 K. Les résultats ont été étendus au cas des serpentins et ont permis d'optimiser la géométrie d'un détecteur, méandre constitué de 17 ponts suspendus en série. Les performances du méandre optimisé, mesurées à 85 K, sont au niveau des meilleures publiées. La gravure de substrats a ensuite permis de réaliser des membranes suspendues constituées des couches de (YBCO, oxyde de cérium, YSZ, silicium) et d'obtenir ainsi un degré de liberté supplémentaire dans la composition de la membrane.

Détails

  • Titre original : Microbolomètres supraconducteurs suspendus opérant à la température de l'azote liquide ; conception et fabrication par micro-usinage de substrats de silicium.
  • Identifiant de la fiche : 1998-0064
  • Langues : Français
  • Source : Vide - vol. 53 - n. 283
  • Date d'édition : 01/1997
  • Document disponible en consultation à la bibliothèque du siège de l'IIF uniquement.

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