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MODIFICATIONS DES SYSTEMES DE CHAUFFAGE, VENTILATION ET CONDITIONNEMENT D'AIR POUR LA FABRICATION DE SEMI-CONDUCTEURS.

HVAC MODIFICATIONS FOR SEMICONDUCTOR FABRICATION.

Auteurs : MANDELBAUM I.

Type d'article : Article

Résumé

LES CONDITIONS D'ATMOSPHERE DANS LES SALLES BLANCHES, AVEC UNE HUMIDITE RELATIVE FAIBLE, ENTRAINENT UNE CONSOMMATION D'ENERGIE IMPORTANTE. LA METHODE DE REGULATION REVISEE, QUE L'ON PRESENTE DANS L'ARTICLE, PERMET D'AMORTIR EN QUELQUES MOIS LES EQUIPEMENTS DE REMPLACEMENT. A.R.T.

Détails

  • Titre original : HVAC MODIFICATIONS FOR SEMICONDUCTOR FABRICATION.
  • Identifiant de la fiche : 1991-2725
  • Langues : Anglais
  • Source : Heat. Pip. Air Cond. - vol. 63 - n. 3
  • Date d'édition : 03/1991
  • Document disponible en consultation à la bibliothèque du siège de l'IIF uniquement.

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