Préparation de films minces YBCO de grande surface par dépôt laser pulsé et chauffage par silicium sous contrôle par scanning du composite.
Preparation of large-area high-quality YBCO thin films by pulsed laser deposition with silicon heater and composite scanning of laser and target.
Auteurs : LU H. B., XU S. F., TIAN Y. J., CUI D. F., CHEN Z. H., ZHANG Y. Z., LI L., YANG G. Z.
Type d'article : Article
Résumé
La chaufferette en silicium, le contrôle par scanning du faisceau laser et de la cible et les résultats expérimentaux sont présentés. La variation de température était inférieure à plus ou moins 0,5% sur une surface de 45 x 40 mm2 dans la gamme 900-1000 deg C. Les films, déposés sur un substrat d'oxyde lanthane-aluminium de 35 mm de diamètre, présentaient une variation d'épaisseur de plus ou moins 2,5 %. Les propriétés supraconductrices sont également évaluées.
Détails
- Titre original : Preparation of large-area high-quality YBCO thin films by pulsed laser deposition with silicon heater and composite scanning of laser and target.
- Identifiant de la fiche : 1995-0018
- Langues : Anglais
- Source : J. Supercond. - vol. 6 - n. 5
- Date d'édition : 10/1993
- Document disponible en consultation à la bibliothèque du siège de l'IIF uniquement.
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Indexation
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Thèmes :
Cryogénie: sécurité, instrumentation et métrologie;
Supraconduction - Mots-clés : Mesure; Fabrication; YBCO; Supraconducteur; Laser; Haute température; Film