RECUIT PAR LASER CO2 DE COUCHES EPAISSES SUPRACONDUCTRICES HT DEPOSEES PAR PLASMA.
CO2 LASER ANNEALING OF PLASMA-DEPOSITED HIGH-TRANSITION TEMPERATURE SUPERCONDUCTING THICK FILMS.
Auteurs : VARSHNEY U.
Type d'article : Article
Résumé
CETTE ETUDE FAIT LE POINT SUR LES TECHNIQUES DE RECUIT, PAR LASER CO2 HAUTE ENERGIE (10,6 MICRONS) FONCTIONNANT EN MODE CONTINU, DES COUCHES EPAISSES DE YBACUO DEPOSEES PAR PLASMA. COMPARAISON DES RESULTATS AVEC CEUX OBTENUS PAR LES TECHNIQEUS CONVENTIONNELLES DE RECUIT THERMIQUE HABITUELLEMENT UTILISEES POUR LE TRAITEMENT APRES DEPOT DES COUCHES EPAISSES SUPRACONDUCTRICES. LA PHASE SUPRACONDUCTRICE A HAUTE TEMPERATURE EST RESTAUREE PAR DIFFUSION DE CATIONS LORS DU RECUIT THERMIQUE. L'INTERET DE LA TECHNOLOGIE RESIDE DANS L'ELIMINATION DES PROBLEMES D'INTERDIFFUSION COUCHE/SUBSTRAT, CE QUI CONDUIT A DES COUCHES EPAISSES SUPRACONDUCTRICES DE HAUTE QUALITE.
Détails
- Titre original : CO2 LASER ANNEALING OF PLASMA-DEPOSITED HIGH-TRANSITION TEMPERATURE SUPERCONDUCTING THICK FILMS.
- Identifiant de la fiche : 1990-0475
- Langues : Anglais
- Source : J. Supercond. - vol. 2 - n. 2
- Date d'édition : 06/1989
- Document disponible en consultation à la bibliothèque du siège de l'IIF uniquement.
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