Source d'ions basse température.
Low temperature ion source.
Auteurs : TANABE S., TONEGAWA A., TAKAYAMA K.
Résumé
Réalisation d'une source d'ions qui fournit un plasma d'ions à basse température, de forte densité, qui utilise une technique à gaz de contact. C'est une source hybride, constituée d'une source plasma à cathode creuse cylindrique du type à compression de plasma, modifiée, et d'une chambre à gaz de contact à potentiel flottant, montée sur la tête de l'anode.
Détails
- Titre original : Low temperature ion source.
- Identifiant de la fiche : 1995-0036
- Langues : Anglais
- Source : Proceedings of the 5th International Conference on ion sources.
- Date d'édition : 08/1993
- Document disponible en consultation à la bibliothèque du siège de l'IIF uniquement.
Liens
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Indexation
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- Auteurs : COMBS S. K.
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- Langues : Anglais
- Source : Rev. sci. Instrum. - vol. 64 - n. 7
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