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Système automatique coplanaire de test de circuits sur tranche, large bande, quatre canaux, basse température.

Broadband four-channel cryogenic wafer probing system for automated coplanar on-chip measurements.

Auteurs : HOFER G. J., JAGER F., KRATZ H. A.

Type d'article : Article

Résumé

Ce dispositif, qui fonctionne entre 4 et 300 K, a été conçu pour effectuer simultanément, jusqu'à quatre mesures large bande de circuits sur tranche. Il a été tenu compte des spécifications propres aux échantillons supraconducteurs. La plupart des mesures nécessaires à la caractérisation des couches minces supraconductrices et des circuits sont faites avec une très bonne précision dans les domaines basses et hautes fréquences. Présentation des détails de conception et des performances du système proposé.

Détails

  • Titre original : Broadband four-channel cryogenic wafer probing system for automated coplanar on-chip measurements.
  • Identifiant de la fiche : 1994-2067
  • Langues : Anglais
  • Source : Rev. sci. Instrum. - vol. 64 - n. 3
  • Date d'édition : 03/1993
  • Document disponible en consultation à la bibliothèque du siège de l'IIF uniquement.

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