Partager

THERMOMETRE A PELLICULE MINCE D'INDIUM.

INDIUM THIN FILM THERMOMETER.

Auteurs : HARUYAMA T., SUZUKI T.

Type d'article : Article

Résumé

ON A FABRIQUE DES THERMOMETRES A RESISTANCE DE PELLICULE MINCE D'INDIUM, D'UNE EPAISSEUR D'ENVIRON 1 MICROMETRE, EN UTILISANT UNE METHODE DE PULVERISATION PAR MAGNETRON, SUR DES SUBSTRATS DE CERAMIQUE. ON A COUPE LA PELLICULE MINCE EN SPIRALE EN UTILISANT UN RAYON LASER FIN, AFIN D'ATTEINDRE UNE RESISTANCE COMPRISE ENTRE 100 ET 500 OHMS. ON A ETUDIE LES ECHANTILLONS A DES TEMPERATURES COMPRISES ENTRE 2 ET 300 K. LES DONNEES REVELENT LES CARACTERISTIQUES TYPES DES THERMOMETRES A RESISTANCE DE METAUX PURS, JUSQU'A 6 K. AU VOISINAGE DE 6 K, CEPENDANT, LA RESISTANCE A DIMINUE BRUTALEMENT, ET DANS LA PLAGE DE 6 A 4,2 K, LE COEFFICIENT DE TEMPERATURE A ETE EVALUE A 25.000 PPM/K.

Détails

  • Titre original : INDIUM THIN FILM THERMOMETER.
  • Identifiant de la fiche : 1991-2478
  • Langues : Anglais
  • Source : Adv. cryog. Eng. - vol. 35 B
  • Date d'édition : 1990
  • Document disponible en consultation à la bibliothèque du siège de l'IIF uniquement.

Liens


Voir d'autres articles du même numéro (53)
Voir la source

Indexation