UN GENERATEUR DE JET D'OZONE COMME SOURCE DE REACTEUR OXYDANT POUR LA PREPARATION D'UNE PELLICULE MINCE D'OXYDE SUPRACONDUCTEUR.

OZONE JET GENERATOR AS AN OXIDIZING REAGENT SOURCE FOR PREPARATION OF SUPERCONDUCTING OXIDE THIN FILM.

Auteurs : HOSOKAWA S., ICHIMURA S.

Type d'article : Article

Résumé

ON A CONSTRUIT UN GENERATEUR DE JET D'OZONE POUR FOURNIR UN FLUX D'OZONE REGULE AVEC PRECISION A UN ECHANTILLON, EN VUE PARTICULIEREMENT DE SON APPLICATION DANS LA PREPARATION DE PELLICULES MINCES D'OXYDE SUPRACONDUCTEUR A L'AIDE D'UNE METHODE D'EPITAXIE MOLECULAIRE.

Détails

  • Titre original : OZONE JET GENERATOR AS AN OXIDIZING REAGENT SOURCE FOR PREPARATION OF SUPERCONDUCTING OXIDE THIN FILM.
  • Identifiant de la fiche : 1992-0952
  • Langues : Anglais
  • Source : Rev. sci. Instrum. - vol. 62 - n. 6
  • Date d'édition : 06/1991
  • Document disponible en consultation à la bibliothèque du siège de l'IIF uniquement.

Liens


Voir d'autres articles du même numéro (2)
Voir la source