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Visualisation des vortex à convection mixte dans un écoulement de jets d'air incidents à travers une chambre cylindrique.

Visualization of mixed convective vortex rolls in an impinging jet flow of air through a cylindrical chamber.

Auteurs : CHENG T. C., CHIOU P. H., LIN T. F.

Type d'article : Article

Résumé

In this study a combined buoyancy and inertia driven vortex flow in an air jet impinging onto a heated circular plate confined in a cylindrical chamber simulating that in a vertical single-wafer rapid thermal processor for semiconductor manufacturing is investigated experimentally by flow visualization. A copper plate is used to simulate the wafer for its better uniformity of the surface temperature and air is used to replace the inert gases.

Détails

  • Titre original : Visualization of mixed convective vortex rolls in an impinging jet flow of air through a cylindrical chamber.
  • Identifiant de la fiche : 2003-1182
  • Langues : Anglais
  • Source : International Journal of Heat and Mass Transfer - vol. 45 - n. 16
  • Date d'édition : 07/2002

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