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Economiser l'énergie dans les salles blanches.

[In Japanese. / En japonais.]

Auteurs : YAMADA T.

Type d'article : Article

Résumé

On étudie la réduction de la consommation d'énergie du système d'équipement, des systèmes de transport et des dispositifs de production, ainsi que les techniques de récupération et d'économie d'énergie, dans l'industrie des semi-conducteurs où fonctionnent des salles blanches industrielles à la pointe de cette technique.

Détails

  • Titre original : [In Japanese. / En japonais.]
  • Identifiant de la fiche : 1997-1786
  • Langues : Japonais
  • Source : SHASE - vol. 70 - n. 6
  • Date d'édition : 06/1996
  • Document disponible en consultation à la bibliothèque du siège de l'IIF uniquement.

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