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Le présent et l'avenir des salles blanches.

[In Japanese. / En japonais.]

Auteurs : SUZUKI M.

Type d'article : Article

Résumé

L'article est centré sur les salles super blanches pour semiconducteurs. On augmente l'intégration de la mémoire des semiconducteurs environ quatre fois tous les trois ans. Une microfabrication stable exige une extrême propreté, et la particule minimale autorisée continue de s'amenuiser au fur et à mesure que les niveaux de microfabrication s'élèvent. Pour contrebalancer l'augmentation des coûts, on étudie à présent les mini-environnements.

Détails

  • Titre original : [In Japanese. / En japonais.]
  • Identifiant de la fiche : 1995-2492
  • Langues : Japonais
  • Source : Refrigeration - vol. 69 - n. 802
  • Date d'édition : 08/1994
  • Document disponible en consultation à la bibliothèque du siège de l'IIF uniquement.

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