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Equilibrage interne de la température dans de grands dispositifs.

[In German. / En allemand.]

Auteurs : SCHNEIDER H., et al.

Type d'article : Article

Résumé

L'objectif de ce travail était de réduire la superficie des salles blanches des équipements photolithographiques, en mettant au point une régulation interne des températures dans les machines elles mêmes. Ce principe est mis en pratique depuis plus de 5 ans pour la production de tranches de silicium utilisées dans la fabrication des puces électroniques. Un programme de simulation permet de monitorer les fluctuations des températures des corps et de l'air, avec un algorithme de régulation proportionnelle-intégrale différentielle (PID), dans des conditions variables de température ambiante, de source interne de chaleur, etc.

Détails

  • Titre original : [In German. / En allemand.]
  • Identifiant de la fiche : 1993-0422
  • Langues : Allemand
  • Source : Klima Kälte Heiz. - vol. 19 - n. 12
  • Date d'édition : 12/1991
  • Document disponible en consultation à la bibliothèque du siège de l'IIF uniquement.

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