PartagerEquipement pour l'étude in situ de la résistivité et de la diffraction aux rayons X sous implantation d'ions à des températures variant de 4 à 1270 K.
Equipment for in situ resistivity and X-ray diffraction studies during ion implantation at temperatures between 4 and 1270 K.
Auteurs : KOENIGER A., HAMMERL C., ZANDER W., RAUSCHENBACH B., STRITZKER B.
Type d'article : Article
Résumé
An implanter end station with heatable helium-cryostat as a sample holder was built. The whole instrument has been successfully tested. Examples of carbon ion implantation in titanium and iron are given.
Détails
- Titre original : Equipment for in situ resistivity and X-ray diffraction studies during ion implantation at temperatures between 4 and 1270 K.
- Identifiant de la fiche : 1998-0729
- Langues : Anglais
- Source : Rev. sci. Instrum. - vol. 67 - n. 11
- Date d'édition : 11/1996
- Document disponible en consultation à la bibliothèque du siège de l'IIF uniquement.
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