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Fabrication de thermomètres or-germanium obtenus par diffusion atomique intercouche.

Fabrication of germanium-gold film thermometers using interfacial atomic diffusion.

Auteurs : ZHU D. M., LIN F.

Type d'article : Article

Résumé

Les thermomètres sont constitués de multicouches or-germanium. Des mesures de résistance in-situ en cours de fabrication montrent que les atomes d'or et de germanium diffusent dans les couches voisines. Lorsque l'épaisseur de la couche d'or déposée dans un film multicouche atteint 8 à 10 angströms, la résistance du film varie suivant une loi de puissance sur une plage étendue de température. Si la couche d'or augmente au-delà de 10 angströms, la résistance du film devient moins sensible à la température. Aussi bien la dépendence en température que l'amplitude de la résistance du film sont en accord avec les résultats obtenus pour des alliages or-germanium.

Détails

  • Titre original : Fabrication of germanium-gold film thermometers using interfacial atomic diffusion.
  • Identifiant de la fiche : 1994-2176
  • Langues : Anglais
  • Source : Rev. sci. Instrum. - vol. 64 - n. 9
  • Date d'édition : 09/1993
  • Document disponible en consultation à la bibliothèque du siège de l'IIF uniquement.

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