PartagerLa contamination volatile, un nouveau challenge pour les salles propres.
Auteurs : TARDIF F.
Type d'article : Article
Résumé
La contamination volatile, constituée de molécules à l'état gazeux, ne peut être traitée par les systèmes de filtration des salles propres. Elle représente un nouveau challenge pour les fabricants de salles propres qui doivent développer des moyens de purification de l'air, de détection et de mesure. Les techniques récemment développées pour la fabrication des semi-conducteurs peuvent être également utilisées dans d'autres domaines industriels.
Détails
- Titre original : La contamination volatile, un nouveau challenge pour les salles propres.
- Identifiant de la fiche : 2002-0476
- Langues : Français
- Source : Chaud Froid Plomb. - n. 633
- Date d'édition : 03/2001
- Document disponible en consultation à la bibliothèque du siège de l'IIF uniquement.
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