LA POUSSIERE DANS LES SALLES BLANCHES.
DUST IN CLEAN ROOMS.
Auteurs : ZHAO R. Y., QIAN P. N., XU W. Q.
Résumé
DEPUIS 1960, UNE ATTENTION TOUTE PARTICULIERE A ETE ACCORDEE A LA CONTAMINATION PAR LAPOUSSIERE DES SALLES BLANCHES DESTINEES AU DEVELOPPEMENT DE SEMICONDUCTEURS OU A LA HAUTE TECHNOLOGIE. COMPTE TENU DES EXIGENCES TOUJOURS PLUS STRICTES DE QUALITE ET DE FIABILITE DES PRODUITS, LA CONTAMINATION PAR LA POUSSIERE, QUI PEUT PROVOQUER DES DETERIORATIONS OU DES PANNES DANS LES ELEMENTS OU LES ASSEMBLAGES DE PRODUITS, DOIT ETRE SOIGNEUSEMENT ENRAYEE. AUSSI, DES REGLEMENTS (CLASSE 1 ET CLASSE 10) ONT ETE AJOUTES A LA NORME FEDERALE 209D, NOUVELLEMENT PUBLIEE, ET LE DIAMETRE DES PARTICULES A ETE ETENDU A 0,1 MICROMETRE.
Détails
- Titre original : DUST IN CLEAN ROOMS.
- Identifiant de la fiche : 1990-2072
- Langues : Anglais
- Date d'édition : 01/08/1989
- Source : Source : CLIMA 2000, Sarajevo
vol. 3; 152-156; 1 fig.; 4 ref. - Document disponible en consultation à la bibliothèque du siège de l'IIF uniquement.
Indexation
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