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CHAUFFAGE, VENTILATION ET CONDITIONNEMENT D'AIR POUR LES PRODUITS TRES ELABORES.

HVAC FOR HIGH-TECH PRODUCTS.

Auteurs : MESZAROS I. R., NISHIMURA M.

Type d'article : Article

Résumé

DES SYSTEMES TRES ELABORES MAINTENANT LA TEMPERATURE, L'HUMIDITE ET UN AIR PARFAITEMENT PROPRE SONT NECESSAIRES POUR LA FABRICATION DES SEMICONDUCTEURS ACTUELS. ON DECRIT DES SYSTEMES TYPIQUES POUR LES LOCAUX DES CLASSES 10, 100 ET 10.000, DEFINIES PAR LA NORME AMERICAINE 209 B ET ON LES PRESENTE DANS DES FIGURES. UN EXEMPLE PRATIQUE MONTRE COMMENT CALCULER LA QUANTITE D'AIR PRIMAIRE NECESSAIRE A UNE SALLE DE LA CLASSE 10.000. L'AIR PRIMAIRE EST FILTRE AU PREALABLE AVEC DES FILTRES D'UN RENDEMENT DE 70 % DOP (DIOCTYLPHTALATE) ET INTRODUIT ENSUITE PAR DES FILTRES A AIR PARTICULAIRE DE RENDEMENT ELEVE, D'UN RENDEMENT DE 99,97 % DOP. E.W.S.

Détails

  • Titre original : HVAC FOR HIGH-TECH PRODUCTS.
  • Identifiant de la fiche : 1987-0690
  • Langues : Anglais
  • Source : ASHRAE Journal - vol. 28 - n. 8
  • Date d'édition : 08/1986
  • Document disponible en consultation à la bibliothèque du siège de l'IIF uniquement.

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