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Nouveau purificateur de gaz pour lasers à excimère argon-fluor.

A new gas purifier for argon-fluorine excimer lasers.

Auteurs : ITO S., SAITO T., TADA A.

Type d'article : Article

Résumé

Les auteurs mettent au point un nouveau purificateur de gaz pour lasers à excimère argon-fluor, pouvant éliminer du gaz toutes les impuretés provenant de la dégradation du laser. Ils ont trouvé que le charbon actif refroidi à température inférieure à -50 deg C élimine effectivement les tétrafluorocarbures, impuretés dominantes produites dans les mélanges de gaz de ces lasers. Ils ont également démontré qu'après un milliard d'éclairs, le gaz du laser pouvait, grâce à ce nouveau purificateur, retrouver sa pureté initiale.

Détails

  • Titre original : A new gas purifier for argon-fluorine excimer lasers.
  • Identifiant de la fiche : 1997-0662
  • Langues : Anglais
  • Source : Rev. sci. Instrum. - vol. 67 - n. 3
  • Date d'édition : 03/1996
  • Document disponible en consultation à la bibliothèque du siège de l'IIF uniquement.

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