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Porte substrat multiple refroidi à basse température sous vide poussé.

Cryogenically cooled multiple-substrate holder for high vacuum.

Auteurs : CHAIKEN A., HONEA E. C., RUPPRECHT W. S., TORRES S., MICHEL R. P.

Type d'article : Article

Résumé

Le fluide cryogénique circule dans un tube soudé sur un plateau en cuivre fixe, alors que les substrats sont montés sur un plateau séparé supporté par un axe transmettant un mouvement linéaire et rotatif. En abaissant le plateau des substrats pour l'amener en bon contact avec le plateau en cuivre, on peut descendre la température du substrat jusqu'à 120 K.

Détails

  • Titre original : Cryogenically cooled multiple-substrate holder for high vacuum.
  • Identifiant de la fiche : 1995-3411
  • Langues : Anglais
  • Source : Rev. sci. Instrum. - vol. 65 - n. 12
  • Date d'édition : 12/1994
  • Document disponible en consultation à la bibliothèque du siège de l'IIF uniquement.

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