Partager

Résultats expérimentaux et numériques sur les écoulements d'air et le déplacement des particules dans une salle blanche de micro-électronique.

Experimental and numerical results for airflow and particle transport in a microelectronics clean room.

Auteurs : KUEHN T. H., PUI D. Y. H., GRATZEK J. P.

Résumé

L'article présente des mesures expérimentales des vitesses moyennes de déplacement d'air, de l'intensité de la turbulence et de la distribution de la fréquence de la turbulence près d'un banc d'aspiration situé dans une salle blanche de type tunnel, à reprise par cloison latérale et de catégorie 10. On obtient une corrélation satisfaisante entre les résultats de vitesse mesurés et calculés, mais la corrélation avec la concentration des particules n'est pas aussi bonne.

Détails

  • Titre original : Experimental and numerical results for airflow and particle transport in a microelectronics clean room.
  • Identifiant de la fiche : 1993-2203
  • Langues : Anglais
  • Date d'édition : 1992
  • Source : Source : ASHRAE Trans.
    vol. 98; n. 1; 940-950; 13 fig.; 8 tabl.; 5 ref.; discuss.
  • Document disponible en consultation à la bibliothèque du siège de l'IIF uniquement.

Indexation