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Sources compactes supraconductrices pour lithographie.

Superconducting compact sources for lithography.

Auteurs : WILSON M. N.

Type d'article : Article

Résumé

La production de puces par lithographie à rayons X semble probablement devenir la première application industrielle sur une grande échelle du rayonnement synchrotron. Parmi toutes les sources à rayons X possibles, seulement des anneaux de stockage ont assez de puissance pour permettre une exploitation industrielle. Pour cette raison, beaucoup d'anneaux pour lithographie ont été et sont construits mondialement. Les anneaux supraconducteurs sont préférables car leurs champs magnétiques plus intenses les rendent plus compacts.

Détails

  • Titre original : Superconducting compact sources for lithography.
  • Identifiant de la fiche : 1993-1229
  • Langues : Anglais
  • Source : Rev. sci. Instrum. - vol. 63 - n. 1 (IIA)
  • Date d'édition : 01/1992
  • Document disponible en consultation à la bibliothèque du siège de l'IIF uniquement.

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