PartagerTechnologie de mesure des particules.
[In Japanese. / En japonais.]
Auteurs : ICHIJO K.
Type d'article : Article
Résumé
Particle measurement in the air and liquid environments are necessary in the electronics industry which needs micro-fabrication technology. The principle and standards related to particle measurements are presented.
Détails
- Titre original : [In Japanese. / En japonais.]
- Identifiant de la fiche : 2009-0783
- Langues : Japonais
- Source : Refrigeration - vol. 83 - n. 973
- Date d'édition : 11/2008
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