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Application de la méthode de conception de gaines 3C aux systèmes d'extraction d'air dans les procédés de fabrication de supraconducteurs.

Application of a 3C duct design method in semiconductor factory process exhaust systems.

Auteurs : CHEN W. L., TING C. C., SHIU H. R., et al.

Résumé

The paper presents a method of calculation for ducts which are used to evacuate special gases and chemicals involved in semiconductor refrigeration processes. These products are more and more harmful to human health and the exhaust duct system must be carefully designed.

Détails

  • Titre original : Application of a 3C duct design method in semiconductor factory process exhaust systems.
  • Identifiant de la fiche : 2003-0461
  • Langues : Anglais
  • Source : ASHRAE Transactions. 2002 Winter Meeting, Atlantic City, New Jersey. Volume 108, part 1 + CD-ROM.
  • Date d'édition : 2002
  • Document disponible en consultation à la bibliothèque du siège de l'IIF uniquement.

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