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SYSTEME DE REGULATION DE PRECISION POUR LE CONDITIONNEMENT D'AIR DANS L'INDUSTRIE DES SEMI-CONDUCTEURS.

[In Japanese. / En japonais.]

Auteurs : TOYODA N.

Type d'article : Article

Résumé

CET ARTICLE REND COMPTE DES EXIGENCES D'UN SYSTEME DE REGULATION DE PRECISION ET DU SYSTEME LUI-MEME POUR L'INDUSTRIE MODERNE DES SEMICONDUCTEURS. DANS LE SYSTEME DE REGULATION DE PRECISION,IL FAUT ELIMINER LA POUSSIERE DE L'AIR CONTENANT DES PARTICULES DE MOINS DE 0,1 MICROMETRE. L'ERREUR SUR LA TEMPERATURE N'EST QUE DE 0,1 K ENVIRON ET LA PRECISION DE REGULATION DE L'HUMIDITE RELATIVE EST DE 2 A 3 % HR. EN TENANT COMPTE DE CES EXIGENCES, L'AUTEUR A MIS AU POINT UNE SALLE BLANCHE THERMIQUE D'UNE CLASSE DE PROPRETE DE 1 A 10, QUI A DONNE UNE VARIATION DE TEMPERATURE INFERIEURE A 0,1 K ENVIRON ET UNE VARIATION D'HUMIDITE RELATIVE INFERIEURE A 2 % ENVIRON. ILA REDUIT LES FRAIS D'EXPLOITATION A L'AIDE D'ECONOMIE D'ENERGIE EN IMAGINANT UN CYCLE FRIGORIFIQUE DE L'INSTALLATION DE TRAITEMENT D'AIR A L'INTERIEUR DE LA CHAMBRE.

Détails

  • Titre original : [In Japanese. / En japonais.]
  • Identifiant de la fiche : 1986-1637
  • Langues : Japonais
  • Source : Refrigeration - vol. 60 - n. 690
  • Date d'édition : 1985
  • Document disponible en consultation à la bibliothèque du siège de l'IIF uniquement.

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