Partager

CONTRASTE DE TENSION A 6 K DANS UN MICROSCOPE A BALAYAGE.

VOLTAGE CONTRAST AT 6 K IN A SCANNING ELECTRON MICROSCOPE.

Auteurs : SADORF H.

Type d'article : Article

Résumé

ON A CONCU ET ESSAYE UN ASSEMBLAGE POUR LES MESURES DE CONTRASTE DE TENSION DANS UN MICROSCOPE ELECTRONIQUE A BALAYAGE DE CIRCUITS ET DISPOSITIFS INTEGRES A UNE BASSE TEMPERATURE QUELCONQUE. L'ASSEMBLAGE COMPREND UNE PLATINE POUR ECHANTILLON A BASSE TEMPERATURE ET UNE COMBINAISON INTEGREE D'UN ANALYSEUR ELECTRONIQUE SECONDAIRE ET D'UNE CRYOPOMPE LOCALE. DES SIGNAUX DE JONCTIONS JOSEPHSON DE COMMUTATION DE L'ORDRE DU MILLIVOLT ONT ETE MESURES AVEC LA SONDE ELECTRONIQUE. LES EFFETS NOCIFS DE LA CONDENSATION OU DE LA CONTAMINATION PAR LE FAISCEAU ELECTRONIQUE A 6 K ONT ETE PRATIQUEMENT ELIMINES.

Détails

  • Titre original : VOLTAGE CONTRAST AT 6 K IN A SCANNING ELECTRON MICROSCOPE.
  • Identifiant de la fiche : 1988-2204
  • Langues : Anglais
  • Source : Cryogenics - vol. 27 - n. 11
  • Date d'édition : 1987

Liens


Voir d'autres articles du même numéro (6)
Voir la source

Indexation