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Mise en service du système de régulation décentralisé d'une usine de matériel micro-électronique.

Distributed control system commissioning for a microelectronics factory.

Auteurs : NAUGHTON P. J.

Résumé

La procédure de mise en service développée doit être assez souple pour permettre une modification rapide des besoins particuliers de la boucle de régulation lors de la mise en service des outils de fabrication. Pour de nombreuses entreprises, la transition de la mise en service simple, utilisée dans le passé, vers une mise en service complexe, adaptée aux systèmes de régulation décentralisés correspondant à l'état d'avancement de la technique, a été difficile. La mise en service du système de régulation décentralisé s'est révélée particulièrement difficile à cause de l'implication de technologies plus avancées et la mise en service plus compliquée. L'article décrit le type de systèmes de régulation décentralisés utilisés et quelques méthodes appliquées à la mise en service d'une nouvelle usine de matériel microélectronique.

Détails

  • Titre original : Distributed control system commissioning for a microelectronics factory.
  • Identifiant de la fiche : 1993-2765
  • Langues : Anglais
  • Source : ASHRAE Transactions 1992. Part 2.
  • Date d'édition : 1992
  • Document disponible en consultation à la bibliothèque du siège de l'IIF uniquement.

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