Partager

Système de monitorage en fonctionnement continu des équipements d'ionisation des salles blanches.

A continuously working monitoring system for clean room ionisers.

Auteurs : SEBALD T.

Type d'article : Article

Résumé

On note que, depuis quelques années, on connaît mieux les effets des charges électrostatiques sur la qualité des produits et sur le rendement des fabrications de microstructures en salle blanche. Dans les zones de fabrication, on effectue des contrôles statiques, et on utilise notamment des équipements d'ionisation de l'air compatibles avec l'ambiance d'une salle blanche. On donne les caractéristiques de ces équipements. On décrit et on illustre par des diagrammes un système de monitorage en fonctionnement continu, que l'on utilise en contrôle statique.

Détails

  • Titre original : A continuously working monitoring system for clean room ionisers.
  • Identifiant de la fiche : 1993-3545
  • Langues : Anglais
  • Date d'édition : 12/1992
  • Source : Source : Environ. Eng.
    vol. 5; n. 4; 16-19; 10 fig.; 13 ref.

Indexation