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SYSTEMES DE CHAUFFAGE, VENTILATION ET CONDITIONNEMENT D'AIR POUR DES SALLES BLANCHES DE FABRICATION DE SEMI-CONDUCTEURS. 1. COMPOSANTS DU SYSTEME. 2. DYNAMIQUE DU SYSTEME TOTAL.

HVAC SYSTEMS FOR SEMICONDUCTOR CLEAN ROOMS. 1. SYSTEM COMPONENTS. 2. TOTAL SYSTEM DYNAMICS.

Auteurs : NAUGHTON P.

Résumé

L'OBJECTIF DE LA 1RE PARTIE EST D'EXAMINER LES PRINCIPAUX COMPOSANTS ENERGETIQUES IMPLIQUES DANS LA CONCEPTION D'UNE SALLE BLANCHE DE CLASSE 10 ; ON FAIT DES SUGGESTIONS POUR ABAISSER LES COUTS DE FONCTIONNEMENT GRACE A UNE SELECTION APPROPRIEE DE COMPOSANTS DE CHAUFFAGE, VENTILATION ET CONDITIONNEMENT D'AIR. DANS LA 2E PARTIE, ON MONTRE LA DYNAMIQUE UNIQUE DE 7 CONCEPTIONS DIFFERENTES DE SALLES BLANCHES POUR LA FABRICATION DE SEMICONDUCTEURS. ON ANALYSE CHAQUE SYSTEME POUR DETERMINER L'INTERACTION DE LA DYNAMIQUE DU COTE DE L'EAU ET DU COTE DE L'AIR, DANS LA CONCEPTION DES SYSTEMES DE CHAUFFAGE, VENTILATION ET CONDITIONNEMENT D'AIR. ON DONNE AUSSI UN RESUME DES COUTS DE FONCTIONNEMENT ET DES RECOMMANDATIONS EN VUE D'UN FONCTIONNEMENT EFFICACE DU SYSTEME.

Détails

  • Titre original : HVAC SYSTEMS FOR SEMICONDUCTOR CLEAN ROOMS. 1. SYSTEM COMPONENTS. 2. TOTAL SYSTEM DYNAMICS.
  • Identifiant de la fiche : 1992-0777
  • Langues : Anglais
  • Date d'édition : 1990
  • Source : Source : ASHRAE Trans.
    vol. 96; n. 2; 620-625; 7 fig.; 7 ref.; discuss.; 626-633; 7 fig.; 1 tabl.; 7 ref.; append.
  • Document disponible en consultation à la bibliothèque du siège de l'IIF uniquement.

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