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Document IIF

Procédé de groupe de prépurification pour produire de l'azote de très grande pureté.

Prepurification unit (PPU) process for the production of ultrahigh purity nitrogen.

Auteurs : JAIN R., ACHARYA D.

Résumé

La production industrielle de puces électroniques exige un azote de très grande pureté pour des densités de lignes de plus en plus fortes. Afin de satisfaire les besoins des fabricants de puces, il faut abaisser à des niveaux extrêmement bas les impuretés réactives dans l'azote, l'oxyde de carbone et l'hydrogène : typiquement, moins de 10 parties par milliard pour chacun. Dans les procédés classiques on élimine ces impuretés en chauffant l'air d'arrivée jusqu'à 150-200 deg C puis en le faisant passer sur un lit catalytique en métal précieux pour les oxyder. Le procédé de prépurification PreAir(MD), mis au point récemment (brevet de BOC), utilise des catalyseurs actifs à la température de fonctionnement du groupe de prépurification (5-50 deg C), sur le lit même de prépurification, pour oxyder l'oxyde de carbone et l'hydrogène. Les produits de réaction (dioxyde de carbone et eau) sont ensuite éliminés par adsorption. Comme ce processus ne nécessite aucun matériel supplémentaire pour l'élimination des impuretés (on utilise les réservoirs du groupe de préfurification existants), le procédé PreAir(MD) abaisse spectaculairement les coûts d'élimination des impuretés réactives.

Documents disponibles

Format PDF

Pages : 71-77

Document à numériser, disponible sous dix jours

  • Prix public

    20 €

  • Prix membre*

    Gratuit

* meilleur tarif applicable selon le type d'adhésion (voir le détail des avantages des adhésions individuelles et collectives)

Détails

  • Titre original : Prepurification unit (PPU) process for the production of ultrahigh purity nitrogen.
  • Identifiant de la fiche : 1998-0049
  • Langues : Anglais
  • Source : MUST 1996. Meeting on Air Separation Technology
  • Date d'édition : 10/10/1996
  • Document disponible en consultation à la bibliothèque du siège de l'IIF uniquement.

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