Document IIF
Production d'azote de pureté quasi absolue.
Production of ultrahigh purity nitrogen free of light impurities.
Auteurs : AGRAWAL R.
Résumé
La demande de réduction du niveau d'impuretés dans l'azote utilisé par l'industrie électronique est en hausse. En plus d'abaisser la concentration d'oxygène et d'argon dans l'azote jusqu'à des niveaux de l'ordre de parties par milliard, il est indispensable que les impuretés plus volatiles comme l'hydrogène soient aussi à des niveaux de partie par milliard. On propose des diagrammes de distillation. L'énergie de surpression sert à produire de l'azote dans ces procédés. L'article décrit une méthode de coproduction d'une grande part de l'azote total, à teneur extrêmement faible de la plupart des impuretés volatiles, et se trouvant encore à la même pression que la principale colonne de distillation. Aucune énergie supplémentaire n'est nécessaire pour ce procédé, ce qui élève le rendement général de la production d'azote.
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Détails
- Titre original : Production of ultrahigh purity nitrogen free of light impurities.
- Identifiant de la fiche : 1998-0048
- Langues : Anglais
- Source : MUST 1996. Meeting on Air Separation Technology
- Date d'édition : 10/10/1996
- Document disponible en consultation à la bibliothèque du siège de l'IIF uniquement.
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