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Document IIF

Ultrapurificateur pour le stockage d'appoint d'azote liquide dans l'industrie électronique.

A cryogenic ultra purifier for liquid nitrogen backup, in electronics industry.

Auteurs : GARY D.

Résumé

L'industrie électronique a besoin de gaz de grande pureté pour sa production. Dans certains cas, ces impuretés ne doivent pas dépasser 1 partie par milliard. L'azote de grande pureté est le principal produit utilisé. Typiquement, l'azote ultra pur est produit par une installation installée sur site, qui peut comprendre la distillation cryogénique associée à des techniques de purification permettant de réaliser les niveaux de pureté désirés. En cas de panne du groupe ou de crête de consommation, un réservoir d'entreposage de sécurité, proche de l'installation, peut assurer la fourniture d'azote ultra pur. Dans certains cas, les installations cryogéniques ne produisent que de l'azote ultra pur en phase gazeuse. Il faut alors alimenter la réserve de sécurité au moyen de camions d'azote liquide normal produit dans une installation non électronique. Typiquement, cet azote liquide normal contient des impuretés, comme l'oxyde de carbone et l'oxygène, puisque dans ce cas il n'a pas été soumis à distillation cryogénique en partie par milliard. Air Liquide met au point une méthode destinée à purifier l'azote liquide normal livré par camions : l'oxyde de carbone et l'oxygène sont éliminés par adsorption à travers un ultra purificateur cryogénique, spécialement conçu pour les spécifications de l'industrie électronique. La réserve d'appoint est alors alimentée en azote liquide ultra pur.

Documents disponibles

Format PDF

Pages : 43-69

Document à numériser, disponible sous dix jours

  • Prix public

    20 €

  • Prix membre*

    Gratuit

* meilleur tarif applicable selon le type d'adhésion (voir le détail des avantages des adhésions individuelles et collectives)

Détails

  • Titre original : A cryogenic ultra purifier for liquid nitrogen backup, in electronics industry.
  • Identifiant de la fiche : 1998-0047
  • Langues : Anglais
  • Source : MUST 1996. Meeting on Air Separation Technology
  • Date d'édition : 10/10/1996
  • Document disponible en consultation à la bibliothèque du siège de l'IIF uniquement.

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