Partager

Document IIF

Procédés cryogéniques pour gaz de très grande pureté.

Cryogenic processes for ultra high purity gases.

Auteurs : HA B.

Résumé

On présente un panorama des procédés et techniques de production cryogéniques actuels pour les gaz de très grande pureté, principalement l'azote et l'oxygène. Différents diagrammes de procédés cryogéniques sont reproduits pour les installations de production d'azote. On étudie les conceptions intégrées d'installations d'oxygène de grande pureté. On fait également le point sur l'élimination d'impuretés sous forme de traces par distillation cryogénique, procédé catalytique frontal ou purificateurs en aval, ainsi que sur la fiabilité et les questions techniques et économiques associées à ce système de sécurité. On s'intéresse aussi aux mises au point les plus récentes du purificateur en phase liquide, et à ses applications dans les usines de production de gaz de très grande pureté. On examine les tendances et nécessités futures de l'industrie des semi-conducteurs, et les défis en résultant, ainsi que leur impact sur les techniques de production, et les limites des appareils d'analyse.

Documents disponibles

Format PDF

Pages : 13-24

Disponible

  • Prix public

    20 €

  • Prix membre*

    Gratuit

* meilleur tarif applicable selon le type d'adhésion (voir le détail des avantages des adhésions individuelles et collectives)

Détails

  • Titre original : Cryogenic processes for ultra high purity gases.
  • Identifiant de la fiche : 1998-0045
  • Langues : Anglais
  • Source : MUST 1996. Meeting on Air Separation Technology
  • Date d'édition : 10/10/1996

Liens


Voir d'autres communications du même compte rendu (14)
Voir le compte rendu de la conférence

Indexation